● 해경 공업화학/무기 공업화학2 2020년 해양경찰 무기공업화학 기출풀이(수정중) 답4 답1 답4 답2 답1 답3 답4 답2 답2 답2 답4 스터퍼링법(Sputerring) : ~ 높은 에너지를 갖는 이온의 충돌에 의해 표적이라고 불리는 원료물질의 표면으로부터 원자들이 떨어져 나오는 현상이며, 기화법과 마찬가지로 물리적 공정으로서 전도성을 가진 금속 박막의 증착에 많이 사용한다. 장점 - 넓은 면적의 표적을 사용할 경우, 웨이퍼 전체면적에 걸친 고른 박막의 증착이 가능 - 박막의 두께 조절이 용이 - 합금물질의 조성은 증착에 의해 제조된 박막보다 더 정확하게 조절이 가능 - 합금물질을 증착하기 위한 많은 표적물질들이 존재 단점 - 높은 설치비용 - 몇몇 물질의 경우 SIO2 증착속도가 매우 느림 - 공정이 저 진공상태에서 수행되므로 다른 불순물에 의한 오염가능성 - 유기물 고체인 경우.. 2021. 3. 7. 2019년 해양경찰 무기공업화하 기출 풀이(수정중) 답4 답1 답4 답2 답2 답1 답2 답3 답2 답3 답4 답3 답4 답3 답4 답2 답2 답3 답4 답1 2021. 3. 6. 이전 1 다음
